Design, fabrication and characterization of force sensors for nanorobot
K. Domanski; P. Janus; P. Grabiec; R. Perez; N. Chaillet; S. Fahlbusch; A. Sill; S. Fatikow
- 作者K. Domanski; P. Janus; P. Grabiec; R. Perez; N. Chaillet; S. Fahlbusch; A. Sill; S. Fatikow
- 印刷ISSN0167-9317
- 文件大小389.86KB
- 发表时间2005
- DOI10.1016/j.mee.2004.12.023
- 页码171-177