Strained silicon on insulator (SSOI) by waferbonding

S.H. Christiansen; R. Singh; I. Radu; M. Reiche; U. Gösele; D. Webb; S. Bukalo; B. Dietrich

作者S.H. Christiansen; R. Singh; I. Radu; M. Reiche; U. Gösele; D. Webb; S. Bukalo; B. Dietrich
卷第8卷
印刷ISSN1369-8001
文件大小438.36KB
发表时间2005
DOI10.1016/j.mssp.2004.09.126
页码197-202

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