GaN nanocolumns formed by inductively coupled plasmas etching
S.C. Hung; Y.K. Su; S.J. Chang; S.C. Chen; T.H. Fang; L.W. Ji
- 作者S.C. Hung; Y.K. Su; S.J. Chang; S.C. Chen; T.H. Fang; L.W. Ji
- 卷第28卷
- 期第2期
- 印刷ISSN1386-9477
- 文件大小512.49KB
- 发表时间2005
- DOI10.1016/j.physe.2005.02.008
- 页码115-120