Vinyl ether formulations for step and flash imprint lithography

E. K. Kim; M. D. Stewart; K. Wu; F. L. Palmieri; M. D. Dickey; J. G. Ekerdt; C. G. Willson

作者E. K. Kim; M. D. Stewart; K. Wu; F. L. Palmieri; M. D. Dickey; J. G. Ekerdt; C. G. Willson
文件大小626.39KB
发表时间2005
DOI10.1116/1.2131881

发现好书期刊，享受阅读乐趣