HREELS, TPD and ESD study of electron-induced decomposition of trimethylamine on Si(100) at 100 K
J. Lozano; D. Early; J. H. Craig Jr.; P. W. Wang; K. R. Kimberlin
- 作者J. Lozano; D. Early; J. H. Craig Jr.; P. W. Wang; K. R. Kimberlin
- 卷第37卷
- 期第4期
- 印刷ISSN0142-2421
- 电子ISSN1096-9918
- 文件大小163.38KB
- 发表时间2005
- DOI10.1002/sia.1990
- 页码366-373