Infrared spectroscopy of bonded silicon wafers

• 作者A. G. Milekhin; C. Himcinschi; M. Friedrich; K. Hiller; M. Wiemer; T. Gessner; S. Schulze; D. R. T. Zahn
• 卷第40卷
• 期第11期
• 印刷ISSN1063-7826
• 电子ISSN1090-6479
• 文件大小292.17KB
• 发表时间2006-11
• DOI10.1134/s1063782606110108
• 页码1304-1313