Optical and electrical properties of thin carbide-containing films on silicon
A. P. Belyaev; S. A. Kukushkin; A. V. Osipov; V. P. Rubets; S. K. Gordeev; S. B. Korchagina
- 作者A. P. Belyaev; S. A. Kukushkin; A. V. Osipov; V. P. Rubets; S. K. Gordeev; S. B. Korchagina
- 卷第32卷
- 期第5期
- 印刷ISSN1063-7850
- 电子ISSN1090-6533
- 文件大小202.01KB
- 发表时间2006-05
- DOI10.1134/s1063785006050142
- 页码414-416