Large-Stroke MEMS Deformable Mirrors for Adaptive Optics
Dagel, D.J.; Cowan, W.D.; Spahn, O.B.; Grossetete, G.D.; Grine, A.J.; Shaw, M.J.; Resnick, P.J.; Jokiel, B.
- 期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
- 作者Dagel, D.J.; Cowan, W.D.; Spahn, O.B.; Grossetete, G.D.; Grine, A.J.; Shaw, M.J.; Resnick, P.J.; Jokiel, B.
- 卷第15卷
- 期第3期
- 印刷ISSN1057-7157
- 文件大小5338.55KB
- 发表时间2006-06
- DOI10.1109/jmems.2006.876794
- 页码572-583