RELIABLE PZT CMP TECHNOLOGY FOR NOVEL FRAM CAPACITORS
CHOI, S. H.; KO, H. Y.; HEO, J. E.; SON, Y. H.; BAE, B. J.; YOO, D. C.; IM, D. H.; JUNG, Y. J.; BYUN, K. R; HAHM, J. H.; SHIN, S. H.; YOON, B. U.; HONG, C. K.; CHO, H. K.; MOON, J. T.
- 期刊名称Integrated Ferroelectrics
- 作者CHOI, S. H.; KO, H. Y.; HEO, J. E.; SON, Y. H.; BAE, B. J.; YOO, D. C.; IM, D. H.; JUNG, Y. J.; BYUN, K. R; HAHM, J. H.; SHIN, S. H.; YOON, B. U.; HONG, C. K.; CHO, H. K.; MOON, J. T.
- 卷第84卷
- 期第1期
- 印刷ISSN1058-4587
- 电子ISSN1607-8489
- 文件大小3329.74KB
- 发表时间2006-11
- DOI10.1080/10584580601085594
- 页码147-158