Thermal stability of lanthanum scandate dielectrics on Si(100)
P. Sivasubramani; T. H. Lee; M. J. Kim; J. Kim; B. E. Gnade; R. M. Wallace; L. F. Edge; D. G. Schlom; F. A. Stevie; R. Garcia; Z. Zhu; D. P. Griffis
- 作者P. Sivasubramani; T. H. Lee; M. J. Kim; J. Kim; B. E. Gnade; R. M. Wallace; L. F. Edge; D. G. Schlom; F. A. Stevie; R. Garcia; Z. Zhu; D. P. Griffis
- 文件大小397.60KB
- 发表时间2006
- DOI10.1063/1.2405418