A manufacturable miniature electron beam column

• 作者James P. Spallas; Charles S. Silver; Lawrence P. Muray; Torquil Wells; Mohamed El-Gomati
• 卷第83卷
• 印刷ISSN0167-9317
• 文件大小409.92KB
• 发表时间2006
• DOI10.1016/j.mee.2006.01.245
• 页码984-989