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Fabrication of densely distributed Si nanorods by Ar+-ion bombardment

Masaki Tanemura; M. Kobayashi; M. Kudo; H. Yamauchi; T. Okita; L. Miao; S. Tanemura

作者Masaki Tanemura; M. Kobayashi; M. Kudo; H. Yamauchi; T. Okita; L. Miao; S. Tanemura
卷第600卷
期第18期
印刷ISSN0039-6028
文件大小404.62KB
发表时间2006
DOI10.1016/j.susc.2006.01.070
页码3668-3672