Morphology control of silicon nanotips fabricated by electron cyclotron resonance plasma etching

C. H. Hsu; Y. F. Huang; L. C. Chen; S. Chattopadhyay; K. H. Chen; H. C. Lo; C. F. Chen

作者C. H. Hsu; Y. F. Huang; L. C. Chen; S. Chattopadhyay; K. H. Chen; H. C. Lo; C. F. Chen
文件大小523.98KB
发表时间2006
DOI10.1116/1.2163894

发现好书期刊，享受阅读乐趣