Innovative Al Damascene Process for Nanoscale Interconnects

K. Choi; S. Han; S. Yun; D. Kim; J. W. Hong; S. W. Lee; B. H. Kim; S. Kim; U. Chung; J. Moon; B. Ryu

作者K. Choi; S. Han; S. Yun; D. Kim; J. W. Hong; S. W. Lee; B. H. Kim; S. Kim; U. Chung; J. Moon; B. Ryu
文件大小2654.16KB
发表时间2006
DOI10.1143/JJAP.45.2987

发现好书期刊，享受阅读乐趣