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Manufacturable MEMS miniSEMs

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R. Saini; Z. Jandric; J. Gammell; S.A.M. Mentink; D. Tuggle

作者R. Saini; Z. Jandric; J. Gammell; S.A.M. Mentink; D. Tuggle
卷第83卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小228.83KB
发表时间2006
DOI10.1016/j.mee.2006.01.260
页码1376-1381

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