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Piezoelectric-Resonance Effect in a Radio-Frequency-Driven Ferroelectric Plasma Source

Piezoelectric-Resonance Effect in a Radio-Frequency-Driven Ferroelectric Plasma Source

Kemp, M.A.; Kovaleski, S.D.

作者Kemp, M.A.; Kovaleski, S.D.
卷第35卷
期第3期
印刷ISSN0093-3813
电子ISSN1939-9375
文件大小537.52KB
发表时间2007
DOI10.1109/tps.2007.895226
页码578-581

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