High-Resolution Nanoimprinting with a Robust and Reusable Polymer Mold
D. R. Barbero; M. S. M. Saifullah; P. Hoffmann; H. J. Mathieu; D. Anderson; G. A. C. Jones; M. E. Welland; U. Steiner
- 作者D. R. Barbero; M. S. M. Saifullah; P. Hoffmann; H. J. Mathieu; D. Anderson; G. A. C. Jones; M. E. Welland; U. Steiner
- 卷第17卷
- 期第14期
- 印刷ISSN1616-301X
- 电子ISSN1616-3028
- 文件大小536.97KB
- 发表时间2007
- DOI10.1002/adfm.200600710
- 页码2419-2425