Fabrication of cantilevers and double AFM tips for the NanoProfiler
Edouard Duriau; T. Clarysse; T. Hantschel; W. Vandervorst
- 作者Edouard Duriau; T. Clarysse; T. Hantschel; W. Vandervorst
- 卷第84卷
- 印刷ISSN0167-9317
- 文件大小709.50KB
- 发表时间2007
- DOI10.1016/j.mee.2007.01.072
- 页码1162-1167