Formation of germanium shallow junction by flash annealing

A. Satta; A. D’Amore; E. Simoen; W. Anwand; W. Skorupa; T. Clarysse; B. Van Daele; T. Janssens

作者A. Satta; A. D’Amore; E. Simoen; W. Anwand; W. Skorupa; T. Clarysse; B. Van Daele; T. Janssens
卷第257卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小264.83KB
发表时间2007
DOI10.1016/j.nimb.2006.12.191
页码157-160

发现好书期刊，享受阅读乐趣