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Electronic properties of ultrathin (HfO[sub 2])[sub x](SiO[sub 2])[sub 1−x] dielectrics on Si (100)

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Jin, Hua; Oh, Suhk Kun; Cho, Young Joon; Kang, Hee Jae; Tougaard, Sven

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Jin, Hua; Oh, Suhk Kun; Cho, Young Joon; Kang, Hee Jae; Tougaard, Sven
卷第102卷
期第5期
印刷ISSN0021-8979
文件大小823.51KB
发表时间2007
DOI10.1063/1.2776157

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