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Compact Laser Interferometer for Translation and Tilt Metrology

Schuldt, Thilo; Gohlke, Martin; Weise, Dennis; Johann, Ulrich; Peters, Achim; Braxmaier, Claus

期刊名称International Journal of Optomechatronics
作者Schuldt, Thilo; Gohlke, Martin; Weise, Dennis; Johann, Ulrich; Peters, Achim; Braxmaier, Claus
卷第1卷
期第2期
印刷ISSN1559-9612
电子ISSN1559-9620
文件大小1065.67KB
发表时间2007-06-07
DOI10.1080/15599610701385537
页码168-179