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Microcantilever hotplates: Design, fabrication, and characterization

Microcantilever hotplates: Design, fabrication, and characterization

Jungchul Lee; William P. King

作者Jungchul Lee; William P. King
卷第136卷
期第1期
印刷ISSN0924-4247
文件大小1837.87KB
发表时间2007
DOI10.1016/j.sna.2006.10.051
页码291-298

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