Parameter optimization of a tribometric device for rapid assessment of substrate surface cleanliness

• 作者N. L. Kazanskiy; V. A. Kolpakov; A. I. Kolpakov; S. V. Krichevsky; N. A. Ivliev; M. V. Desjatov
• 卷第17卷
• 期第2期
• 印刷ISSN1060-992X
• 电子ISSN1934-7898
• 文件大小171.46KB
• 发表时间2008-06
• DOI10.3103/s1060992x08020112
• 页码167-172