Evaluation of Si3N4/Si interface by UV Raman spectroscopy

A. Ogura; T. Yoshida; D. Kosemura; Y. Kakemura; T. Aratani; M. Higuchi; S. Sugawa; A. Teramoto; T. Ohmi; T. Hattori

作者A. Ogura; T. Yoshida; D. Kosemura; Y. Kakemura; T. Aratani; M. Higuchi; S. Sugawa; A. Teramoto; T. Ohmi; T. Hattori
卷第254卷
期第19期
印刷ISSN0169-4332
文件大小216.44KB
发表时间2008
DOI10.1016/j.apsusc.2008.02.151
页码6229-6231

发现好书期刊，享受阅读乐趣