Analysis of interface layers by spectroscopic ellipsometry

T.J. Kim; J.J. Yoon; Y.D. Kim; D.E. Aspnes; M.V. Klein; D.-S. Ko; Y.-W. Kim; V.C. Elarde; J.J. Coleman

作者T.J. Kim; J.J. Yoon; Y.D. Kim; D.E. Aspnes; M.V. Klein; D.-S. Ko; Y.-W. Kim; V.C. Elarde; J.J. Coleman
卷第255卷
期第3期
印刷ISSN0169-4332
文件大小282.48KB
发表时间2008
DOI10.1016/j.apsusc.2008.07.005
页码640-642

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