Ion beam modification of structural and electrical properties of TiN thin films

• 作者M. Popović; M. Stojanović; D. Peruško; M. Novaković; I. Radović; V. Milinović; B. Timotijević; M. Mitrić; M. Milosavljević
• 卷第266卷
• 期第10期
• 印刷ISSN0168-583X
• 文件大小199.35KB
• 发表时间2008
• DOI10.1016/j.nimb.2008.03.032
• 页码2507-2510