Dipole model explaining high-k/metal gate field effect transistor threshold voltage tuning

P. D. Kirsch; P. Sivasubramani; J. Huang; C. D. Young; M. A. Quevedo-lopez; H. C. Wen; H. Alshareef; K. Choi; C. S. Park; K. Freeman; M. M. Hussain; G. Bersuker; H. R. Harris; P. Majhi; R. Choi; P. Lysaght; B. H. Lee; H. Tseng; R. Jammy; T. S. Böscke; D. J. Lichtenwalner; J. S. Jur; A. I. Kingon

作者P. D. Kirsch; P. Sivasubramani; J. Huang; C. D. Young; M. A. Quevedo-lopez; H. C. Wen; H. Alshareef; K. Choi; C. S. Park; K. Freeman; M. M. Hussain; G. Bersuker; H. R. Harris; P. Majhi; R. Choi; P. Lysaght; B. H. Lee; H. Tseng; R. Jammy; T. S. Böscke; D. J. Lichtenwalner; J. S. Jur; A. I. Kingon
文件大小585.08KB
发表时间2008
DOI10.1063/1.2890056

发现好书期刊，享受阅读乐趣

Dipole model explaining high-k/metal gate field effect transistor threshold voltage tuning