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Silicon depletion layer actuators

Silicon depletion layer actuators

Ransley, J. H. T.; Aziz, A.; Durkan, C.; Seshia, A. A.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Ransley, J. H. T.; Aziz, A.; Durkan, C.; Seshia, A. A.
卷第92卷
期第18期
印刷ISSN0003-6951
文件大小573.50KB
发表时间2008
DOI10.1063/1.2920440

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