Efficiency of reducing and oxidizing ash plasmas in preventing metallic barrier diffusion into porous SiOCH

N. Posseme; T. Chevolleau; T. David; M. Darnon; J.P. Barnes; O. Louveau; C. Licitra; D. Jalabert; H. Feldis; M. Fayolle; O. Joubert

作者N. Posseme; T. Chevolleau; T. David; M. Darnon; J.P. Barnes; O. Louveau; C. Licitra; D. Jalabert; H. Feldis; M. Fayolle; O. Joubert
卷第85卷
期第8期
印刷ISSN0167-9317
文件大小996.98KB
发表时间2008
DOI10.1016/j.mee.2008.05.028
页码1842-1849

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