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CHARIOT: Software tool for modeling SEM signal and e-beam lithography

CHARIOT: Software tool for modeling SEM signal and e-beam lithography

S. Babin; S. Borisov; A. Ivanchikov; I. Ruzavin

作者S. Babin; S. Borisov; A. Ivanchikov; I. Ruzavin
卷第1卷
期第1期
印刷ISSN1875-3892
文件大小1061.50KB
发表时间2008
DOI10.1016/j.phpro.2008.07.110
页码305-313

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