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Microcantilever hotplates with temperature-compensated piezoresistive strain sensors

Microcantilever hotplates with temperature-compensated piezoresistive strain sensors

Fabian Goericke; Jungchul Lee; William P. King

作者Fabian Goericke; Jungchul Lee; William P. King
卷第143卷
期第2期
印刷ISSN0924-4247
文件大小1313.84KB
发表时间2008
DOI10.1016/j.sna.2007.10.049
页码181-190

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