Miniaturized thermal flow sensor with planar-integrated sensor structures on semicircular surface channels

• 作者M. Dijkstra; M.J. de Boer; J.W. Berenschot; T.S.J. Lammerink; R.J. Wiegerink; M. Elwenspoek
• 卷第143卷
• 期第1期
• 印刷ISSN0924-4247
• 文件大小844.94KB
• 发表时间2008
• DOI10.1016/j.sna.2007.12.005
• 页码1-6