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Characteristics of monopole antenna plasmas for TEOS PECVD

Characteristics of monopole antenna plasmas for TEOS PECVD

K. Takizawa; Y. Mori; N. Miyatake; K. Murata

作者K. Takizawa; Y. Mori; N. Miyatake; K. Murata
卷第516卷
期第11期
印刷ISSN0040-6090
文件大小375.30KB
发表时间2008
DOI10.1016/j.tsf.2007.08.029
页码3605-3609

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