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Settling the “Dead Layer” Debate in Nanoscale Capacitors

Settling the “Dead Layer” Debate in Nanoscale Capacitors

Li-Wu Chang; Marin Alexe; James F. Scott; J. Marty Gregg

作者Li-Wu Chang; Marin Alexe; James F. Scott; J. Marty Gregg
卷第21卷
期第48期
印刷ISSN0935-9648
电子ISSN1521-4095
文件大小216.31KB
发表时间2009
DOI10.1002/adma.200901756
页码4911-4914

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