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In situ correction of windows’ linear birefringence in ellipsometry measurements

In situ correction of windows’ linear birefringence in ellipsometry measurements

N. Nissim; S. Eliezer; L. Bakshi; D. Moreno; L. Perelmutter

作者N. Nissim; S. Eliezer; L. Bakshi; D. Moreno; L. Perelmutter
卷第282卷
期第17期
印刷ISSN0030-4018
文件大小250.04KB
发表时间2009
DOI10.1016/j.optcom.2009.05.051
页码3414-3420

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