ПОВЫШЕНИЕ КАЧЕСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ, ПУТЕМ ИХ ГРУППОВОГО РАЗДЕЛЕНИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ ТРАВЛЕНИЕМ

• 期刊名称Труды Международного симпозиума "Надежность и качество"
• 作者ЦИБИЗОВ П.Н.,АСТАХОВА Т.В.
• 卷第2卷
• 印刷ISSN2220-6418
• 文件大小349.79KB
• 发表时间2009
• DOI10.0000/cyberleninka.ru/article/n/povyshenie-kachestva-poluprovodnikovyh-chuvstvitelnyh-elementov-mikroelektronnyh-datchikov-davleniya-putem-ih-gruppovogo