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On dielectric breakdown in silicon-rich silicon nitride thin films

On dielectric breakdown in silicon-rich silicon nitride thin films

Habermehl, S.; Apodaca, R. T.; Kaplar, R. J.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Habermehl, S.; Apodaca, R. T.; Kaplar, R. J.
卷第94卷
期第1期
印刷ISSN0003-6951
文件大小450.19KB
发表时间2009
DOI10.1063/1.3065477

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