New SPM concept for accurate and repeatable tip positioning

E. Duriau; T. Clarysse; A. Moussa; D. Vanhaeren; P. Eyben; T. Hantschel; W. Vandervorst

作者E. Duriau; T. Clarysse; A. Moussa; D. Vanhaeren; P. Eyben; T. Hantschel; W. Vandervorst
卷第86卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小444.98KB
发表时间2009
DOI10.1016/j.mee.2008.11.098
页码1234-1237

发现好书期刊，享受阅读乐趣