Design evaluation of a single-axis precision controlled positioning stage

• 作者Eric S. Buice; David Otten; Raymond H. Yang; Stuart T. Smith; Robert J. Hocken; David L. Trumper
• 卷第33卷
• 期第4期
• 印刷ISSN0141-6359
• 文件大小1787.87KB
• 发表时间2009
• DOI10.1016/j.precisioneng.2008.11.001
• 页码418-424