Wafer level packaging technology for silicon resonators

J. Baborowski; A. Pezous; G. Spinola Durante; R. Jose James; R. Ziltener; C. Muller; M.-A. Dubois

作者J. Baborowski; A. Pezous; G. Spinola Durante; R. Jose James; R. Ziltener; C. Muller; M.-A. Dubois
卷第1卷
期第1期
印刷ISSN1876-6196
文件大小507.72KB
发表时间2009
DOI10.1016/j.proche.2009.07.383
页码1535-1538

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