Ion energy distributions in AZO magnetron sputtering from planar and rotatable magnetrons

F. Richter; T. Welzel; R. Kleinhempel; T. Dunger; T. Knoth; M. Dimer; F. Milde

作者F. Richter; T. Welzel; R. Kleinhempel; T. Dunger; T. Knoth; M. Dimer; F. Milde
卷第204卷
印刷ISSN0257-8972
文件大小691.68KB
发表时间2009
DOI10.1016/j.surfcoat.2009.09.034
页码845-849

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