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Nanocrystalline diamond piezoresistive sensor

Pavel Kulha; Alexander Kromka; Oleg Babchenko; Milan Vanecek; Miroslav Husak; Oliver A. Williams; Ken Haenen

作者Pavel Kulha; Alexander Kromka; Oleg Babchenko; Milan Vanecek; Miroslav Husak; Oliver A. Williams; Ken Haenen
卷第84卷
期第1期
印刷ISSN0042-207X
文件大小341.95KB
发表时间2009
DOI10.1016/j.vacuum.2009.04.023
页码53-56