Characterization of Low-k/Cu Damascene Structures Using Monoenergetic Positron Beams

A. Uedono; N. Inoue; Y. Hayashi; K. Eguchi; T. Nakamura; Y. Hirose; M. Yoshimaru; N. Oshima; T. Ohdaira; R. Suzuki

作者A. Uedono; N. Inoue; Y. Hayashi; K. Eguchi; T. Nakamura; Y. Hirose; M. Yoshimaru; N. Oshima; T. Ohdaira; R. Suzuki
文件大小182.74KB
发表时间2009
DOI10.1143/JJAP.48.120222

发现好书期刊，享受阅读乐趣