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<![CDATA[Deep-Reactive-Ion-Etched Wafer-Scale-Transferred All-Silicon Dielectric-Block Millimeter-Wave MEMS Phase Shifters]]>

Somjit, Nutapong; Stemme, Göran; Oberhammer, Joachim
  • 作者Somjit, Nutapong; Stemme, Göran; Oberhammer, Joachim
  • 卷第19卷
  • 期第1期
  • 文件大小2195.37KB
  • 发表时间2010
  • DOI10.1109/JMEMS.2009.2036943
  • 页码120-128
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