Electron beam nanolithography in AZnLOF 2020

• 作者Etienne Herth; Pascal Tilmant; Marc Faucher; Marc François; Christophe Boyaval; Francois Vaurette; Yves Deblocq; Bernard Legrand; Lionel Buchaillot
• 卷第87卷
• 期第11期
• 印刷ISSN0167-9317
• 文件大小616.71KB
• 发表时间2010
• DOI10.1016/j.mee.2009.12.079
• 页码2057-2060