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Dummy fill effect on CMP planarity

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Junxiong, Zhou; Lan, Chen; Wenbiao, Ruan; Zhigang, Li; Weixiang, Shen; Tianchun, Ye
  • 期刊名称Journal of Semiconductors
  • 作者Junxiong, Zhou; Lan, Chen; Wenbiao, Ruan; Zhigang, Li; Weixiang, Shen; Tianchun, Ye
  • 卷第31卷
  • 期第10期
  • 印刷ISSN1674-4926
  • 文件大小1207.58KB
  • 发表时间2010-10
  • DOI10.1088/1674-4926/31/10/106003
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