Electron Beam Recorder for Patterned Media Mastering

H. Kitahara; Y. Uno; H. Suzuki; T. Kobayashi; H. Tanaka; Y. Kojima; M. Kobayashi; M. Katsumura; Y. Wada; T. Iida

作者H. Kitahara; Y. Uno; H. Suzuki; T. Kobayashi; H. Tanaka; Y. Kojima; M. Kobayashi; M. Katsumura; Y. Wada; T. Iida
文件大小976.28KB
发表时间2010
DOI10.1143/JJAP.49.06GE02

发现好书期刊，享受阅读乐趣