Высокотемпературные тензорезистивные датчики давлений на основе карбида кремния. Состояние разработок и тенденции развития

• 期刊名称Компоненты и Технологии
• 作者Баринов Илья
• 卷第8卷
• 期第109期
• 印刷ISSN2079-6811
• 文件大小734.20KB
• 发表时间2010
• DOI10.0000/cyberleninka.ru/article/n/vysokotemperaturnye-tenzorezistivnye-datchiki-davleniy-na-osnove-karbida-kremniya-sostoyanie-razrabotok-i-tendentsii-razvitiya