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Deep etch of GaN by laser micromachining

Deep etch of GaN by laser micromachining

Giuseppe Y. Mak; Edmund Y. Lam; H. W. Choi

作者Giuseppe Y. Mak; Edmund Y. Lam; H. W. Choi
卷第7卷
印刷ISSN1610-1634
电子ISSN1610-1642
文件大小220.60KB
发表时间2010
DOI10.1002/pssc.200983480
页码2151-2153

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