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Compact plasma source for removal of hydrocarbons for surface analysis

Compact plasma source for removal of hydrocarbons for surface analysis

Catherine A. Dukes; Raúl A. Baragiola

作者Catherine A. Dukes; Raúl A. Baragiola
卷第42卷
期第1期
印刷ISSN0142-2421
电子ISSN1096-9918
文件大小336.23KB
发表时间2010
DOI10.1002/sia.3138

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